基本信息
cas:22398-80-7
中文名称:磷化铟
中文别名:磷化铟(III);
英文名称:INDIUM PHOSPHIDE
英文别名:polycrystallinelump;INDIUM(III) PHOSPHIDE;Indium phosphide (InP);Phosphinidyneindium(III);InP;indiummonophosphide;Indiumphsophidewafer;Indium phosphide wafer;
分子式:InP
分子量:145.79200
精确质量:145.87800
PSA:0.00000
LOGP:0.86120
物化性质
密度:4,787 g/cm3
熔点:1070°C
储存条件:库房通风低温干燥
安全信息
RTECS号:NL1800000
安全说明:S24/25
WGK Germany:3
危险品运输编码:3288
生产方法及用途
生产方法
用高压单晶炉制备磷化铟单晶是最主要的方法,并用掺等电子杂质的方法降低晶体的位错密度。而气相外延,多采用In-PCl3-H2系统的歧化法,在该工艺中用铟(99.9999%)和三氯化磷(99.999%)之间的反应来生长磷化铟层。气相外延将石英反应管放在双温区电炉中,已净化的高纯氢气经计量通入,氢气也用来稀释三氯化磷,此时彭泡器保持在0℃,通过反应管内的氢气线速度为14 cm/min。外延生长分为诱个阶段进行。在第一阶段,将盛有铟的石英舟放在电炉中源区,通入氢气并加热到700~850℃,再用氢气将三氯化磷引入,在铟源上方被还原成磷蒸气和氯化氢。镉化氢与铟反应生成一氯化铟蒸气在管中迁移。磷溶解在铟中直至饱和为止。在第二阶段,铟源保持在原位置不加热,单晶衬底放在电炉的第二加温区后,在氢气氛下加热到600~750℃。首先用氢气将三氯化磷引入到管内对衬底进行气相腐蚀,清洗衬底表面。再将氢气直接引入反应管,并把源加热到它的过饱和温度(在操作中此温度比衬底晶体的温度高100℃)。然后通过氢气鼓泡将三氯化磷引入,这时磷蒸气与在源区生成的一氯化铟反应,在衬底上淀积生长出磷化铟层。当外延生长完成后,向系统中通入纯氢气,将两个温区冷却到室温,取出产物,制得磷化铟成品。2.取化学计量的铟和红磷封入石英管中,反应温度在700℃经350~400h,可制得InP,收率为94%~95%。3.用铟和比化学计算量略多的Zn3P2按合成AlP相同的方法,在700~800℃下加热1~2日则可制得磷化铟。本法收率低。产物用稀盐酸处理就可以得到纯的InP。4.由卤素反应系统制取的方法。在高真空中,加热650℃以上,使InP升华。欲制得纯的InP,要使用过量的In。

用途

用作半导体材料,用于光纤通讯技术,需要 1~ 6-μm范围内的光源和接受器。在InP衬底上生长InGaAsP双异质结激光器既能满足晶格匹配,又能满足波长范围的要求。
毒性
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